適用于半導(dǎo)體行業(yè)液態(tài)化學(xué)品測量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 制成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測量?？赏ㄟ^ ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴口 Flare 連接。

維薩拉 K-PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于晶圓潔凈室里的化學(xué)品濃度監(jiān)測，通常被安裝在混合、清洗、蝕刻和 (CMP) 等機臺上。

PR-33-S 包含改良超純 PTFE 流通池和以太網(wǎng)線，任何標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)供電 (PoE) 開關(guān)均可通過以太網(wǎng)線向傳感器供電，并將數(shù)據(jù)傳輸給計算機。PR-33-S 實時監(jiān)控化學(xué)品濃度，并立即通過以太網(wǎng)信號輸出，當(dāng)化學(xué)品濃度超出規(guī)定范圍時，可通過配置過低濃度和過高濃度警報來控制和延長使用周期。該儀器通過光學(xué)原理測量溶液的折射率 nD 和溫度，從而獲得溶液濃度。

PR-33-S 直接通過柱形或喇叭形配件串接來進行安裝，而且結(jié)構(gòu)緊湊，不含金屬，占地面積小。

關(guān)鍵要素：

• N.I.S.T. 標(biāo)準(zhǔn)下的可追溯校準(zhǔn)及驗證，采用標(biāo)準(zhǔn)折射率液體和驗證程序進行驗證。

• 獨特光學(xué)核心設(shè)計。 

• 通過以太網(wǎng)進行數(shù)據(jù)記錄和遠程界面操作。

• 標(biāo)準(zhǔn) UDP/IP 通信。

• 過程溫度范圍：-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。

• 內(nèi)置 Pt1000 快速溫度測量及自動溫度補償 

全數(shù)字化設(shè)備

維薩拉 K?PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-33-S 用于過程監(jiān)控，可提供連續(xù)的以太網(wǎng)輸出信號，設(shè)計緊湊，可直接串接在過程管路上。

滿量程下保持精確穩(wěn)定測量

折光率測量范圍 nD 1.3200–1.5300，相當(dāng)于 0-100%（重量百分比）。對于高濃度 HF，可選范圍為 nD 1.2600–1.4700。標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 R.I.+ 0.0002，通常相當(dāng)于 0.1%（按重量百分比計），例如，鹽酸濃度。

測量不受顆粒、氣泡、紊流及 PPM 濃度級別微量雜質(zhì)影響。

易于維護

獨特光學(xué)核心設(shè)計。
無漂移。無需重新校準(zhǔn)。無需進行機械調(diào)節(jié)。

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