吉時利儀器公司不斷增強半導(dǎo)體行業(yè)性價比最高的高速生產(chǎn)參數(shù)測試方案——S530參數(shù)測試系統(tǒng)的功能。由于有吉時利測試環(huán)境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開關(guān)以及脈沖發(fā)生、頻率測量和低電壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530系統(tǒng)實現(xiàn)了更寬范圍的生產(chǎn)參數(shù)測試應(yīng)用和高速、經(jīng)濟(jì)有效的測試方案。

48引腳全Kelvin開關(guān)配置

S530低電流系統(tǒng)利用高性能開關(guān)矩陣控制測量儀器與測試引腳之間的信號傳輸，實現(xiàn)了一直到探針引腳的亞皮安級測量分辨率和低電流防護(hù)。目前，此系統(tǒng)的最新功能增強支持48引腳全Kelvin（4線式）開關(guān)配置，使以前提供的全Kelvin引腳數(shù)量翻番。通過保持與全Kelvin開關(guān)和連線有關(guān)的信號完整性，同時將系統(tǒng)最大引腳數(shù)翻番，S530結(jié)合了精密高速測量和增強的系統(tǒng)配置靈活性以確保未來的全面測試覆蓋。

環(huán)路振蕩器選件的測量功能

一種新的高速、高分辨率示波器選件支持寬頻測量范圍上的環(huán)路振蕩器測試。該新系統(tǒng)選件以高達(dá)400兆采樣/秒的采樣速率實現(xiàn)了從大約10kHz至20MHz的測量。隨著越來越多的半導(dǎo)體晶圓廠已將環(huán)路振蕩器納入整個過程控制監(jiān)測測試結(jié)構(gòu)中，參數(shù)測試系統(tǒng)的頻率測量功能變得日益重要。

脈沖發(fā)生選件的功能

隨著更多的集成電路設(shè)計中引入了嵌入式存儲器例如閃存，半導(dǎo)體晶圓廠不斷將內(nèi)存結(jié)構(gòu)和測量加入過程控制監(jiān)測程序，這些器件的測試要求輸出用戶定義的電壓脈沖來設(shè)置和擦除內(nèi)存單元，再進(jìn)行器件的精密直流測量。為滿足此需求，把現(xiàn)在放置電容-電壓(C-V)儀器卡的相同子系統(tǒng)機(jī)箱集成2通道、4通道或6通道脈沖發(fā)生功能至S530的配置中，使S530產(chǎn)生寬范圍的器件測試波形并增強系統(tǒng)靈活性。

系統(tǒng)DMM選件

作為過程控制監(jiān)測的一部分，測試范德堡和金屬結(jié)構(gòu)要求結(jié)合低壓測量、高測量分辨率和卓越的可重復(fù)性。對于這些應(yīng)用而言，S530系統(tǒng)現(xiàn)提供專為低壓測量優(yōu)化的7位半、低噪聲數(shù)字萬用表選件。它在最低量程（100mV）上具有10nV分辨率，在次低量程（1V）上具有100nV分辨率，同時具有7ppm直流電壓可重復(fù)性。

選擇低電流或高電壓系統(tǒng)

有兩種不同配置的S530系統(tǒng)。S530低電流系統(tǒng)適于測量亞域值漏電、柵漏電等特性。S530高壓系統(tǒng)包含的源測量單元（SMU）能輸出高達(dá)1000V@20mA（20W最大值）至任意系統(tǒng)引腳。此版本優(yōu)化了GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的難度較大的故障測試和漏電測試。雖然新的48針Kelvin開關(guān)是低電流系統(tǒng)的獨特功能,但所有新的量測選項都可搭配于這兩個系統(tǒng)。

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